中科院五纳米光刻技术获进展?官网发文后又删除

时间:2020-07-09 14:28内容来源:联合早报 版阅读:新闻归类:中国聚焦
中国科学院官网7月1日发布关于新型五纳米超高精度激光光刻加工方法取得进展的文章后,又撤下了稿件,尚不知原因。 据香港01报道,该文章介绍,中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所研究员张子旸

中国科学院官网7月1日发布关于新型五纳米超高精度激光光刻加工方法取得进展的文章后,又撤下了稿件,尚不知原因。

据香港01报道,该文章介绍,中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所研究员张子旸与国家纳米中心研究员刘前合作,在《纳米通讯》(Nano Letters)发表研究论文,报道一种新型五纳米超高精度激光光刻加工方法。

官网还介绍,该研究使用研究团队开发的具有完全知识产权的激光直写设备,利用激光与物质的非线性相互作用来提高加工分辨率,有别于传统的缩短激光波长或增大数值孔径的技术路径,打破传统激光直写技术中受体材料为有机光刻胶的限制,可使用多种受体材料,扩展激光直写的应用场景。

不过,该新闻发出后,中科院官网又撤下了稿件,尚不知原因。

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